臭氧殺菌類歸于生物化學氧化反響。臭氧氧化分化了細菌內部葡萄糖所必須的酶；也能夠直接與細菌、病毒發生作用，損壞其細胞壁和核糖核酸，分化DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，能夠滲透到胞膜組織，進入細胞膜內的內部脂多糖于外膜脂蛋白發生反響，使細菌的物質發生通透性畸變，導致細胞的溶解逝世，并且將逝世菌體內的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原（細菌病毒代謝產品、內毒素）等溶解變性逝世。

　　大型臭氧發生器利用“臭氧”氧化之天然特性將阿摩尼亞味及有機性污染物質在糜爛分化中發生的臭味徹底分化去除，它損壞了發生臭味物質的分子結構，生成無毒、無臭的物質。泳池國際比賽游泳池簡直都是采用臭氧技術處理，不光可去除水中的余氯，分化氯消毒發生的氯仿、溴二氯甲烷、四氧化碳等具有致癌性的氯化有機物。并且可殺菌；更為經濟的是延長池水的使用時間，成本降低。

　　大型臭氧發生器氧在工業廢水處理中使用也十分普遍，常見的有對含酚、含氰及印染廢水處理等。臭氧能使氰絡鹽中的氰敏捷分化，其反響為兩步，先將劇毒的CN-氧化為CNO-，今后再進一步氧化為CO2和N2，能使有毒廢水的毒性降低100倍左右。

　　臭氧對含酚廢水處理，其對酚的降解速度與臭氧投加量與時間有關，且反響中PH值越高反響越快，臭氧消耗越小。臭氧對除分散染料以外的一切染料廢水都有脫色才能，他能夠損壞染料中的發色或助色基因，到達脫色作用。國內一項實驗標明，在色度高達1800-2500倍， COD為1100-1800mg/L時，在特定條件下，臭氧可在15min內脫色率達99%，COD去除率接近90%。因工業廢水程度紛歧，計算臭氧投加量時，一般經過實驗得出數據。