根據臭氧發生器的結構，有間隙放電型(DBD)和開放式。間隙式結構的特點是臭氧在內外電極的間隙中產生臭氧，臭氧可以集中收集輸出，濃度高，如用于水處理。開放式發生器的電極暴露在空氣中，產生的臭氧直接擴散到空氣中。由于臭氧濃度低，通常只用于小空間的空氣消du或一些小物品的表面消du?？梢允褂瞄g隙發生器來代替開放式發生器。然而，間隙放電臭氧發生器的成本遠高于開放式臭氧發生器。

　　根據冷卻方式，有水冷型和風冷型。臭氧發生器工作時會產生大量熱能，所以需要冷卻，否則會因高溫而同時產生和分解臭氧。水冷發電機冷卻成效好，運行穩定，無臭氧衰減，可長時間連續工作，但結構復雜，成本略高?？粘尚Р焕硐?，臭氧衰減顯著。性能穩定的高性能臭氧發生器一般都是水冷的。一般風冷只用于臭氧產量小的中低檔臭氧發生器。在選擇發電機時，應盡可能使用水冷發電機。按介質材料分，常見的有石英管(玻璃的一種)、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種。目前市場上有各種介電材料制成的臭氧發生器出售，其性能各不相同。玻璃介質是zui早用于人工臭氧生產的材料之一，但其機械強度較差。類似于陶瓷玻璃，但陶瓷不適合加工，特別是在大型臭氧發生器中的使用受到限制。搪瓷是一種集電介質和電極于一體的新型電介質材料，具有高機械強度和高精度。廣泛應用于大中型臭氧發生器，但制造成本高。